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Key machining characteristics in ultrasonic vibration cutting of single crystal silicon for micro grooves
Jun-Yun Chen, Tian-Ye Jin, Xi-Chun Luo
Key machining characteristics in ultrasonic vibration cutting of single crystal silicon for micro grooves
Jun-Yun Chen, Tian-Ye Jin, Xi-Chun Luo
Advances in Manufacturing . 2019, (
3
): 303 -314 . DOI: 10.1007/s40436-019-00263-4
